Medidor de espessura e densidade areal integrado CDM
Princípios de medição

Princípios de medição da densidade superficial
Método de absorção de raios X/β
Princípios de medição de espessura
Correlação e triangulação a laser
Características dos testes técnicos do CDM
Cenário 1: Há uma lacuna/falta de 2 mm de largura na superfície do eletrodo e uma borda é mais espessa (linha azul, como mostrado abaixo). Quando o ponto do raio tem 40 mm, o impacto do formato dos dados originais medidos (linha laranja, como mostrado abaixo) parece obviamente menor.

Cenário 2: dados de perfil da área de desbaste dinâmico com largura de dados de 0,1 mm

Recursos do software

Parâmetros técnicos
Nome | Índices |
Velocidade de digitalização | 0-18 m/min |
Frequência de amostragem | Densidade de superfície: 200 kHz; espessura: 50 kHz |
Faixa de medição de densidade de superfície | Densidade de superfície: 10~1000 g/m²; espessura: 0~3000 μm; |
Repetição de medição precisão | Densidade superficial: Integral de 16s: ±2σ: ≤±valor verdadeiro * 0,2‰ ou ±0,06g/m²; ±3σ:≤±valor verdadeiro * 0,25‰ ou +0,08g/m²; Integral 4s: ±2σ: ≤±valor verdadeiro * 0,4‰ ou ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±valor verdadeiro * 0,6‰ ou ±0,18g/m²;Grossura: Zona de 10 mm:±3σ: ≤±0,3μm; Zona de 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; Zona de 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm; |
Correlação R2 | Densidade superficial >99%; espessura >98%; |
Ponto de laser | 25*1400μm |
Classe de proteção contra radiação | Norma nacional de segurança GB 18871-2002 (isenção de radiação) |
Vida útil de radioativos fonte | Raio β: 10,7 anos (meia-vida do Kr85); Raio X: > 5 anos |
Tempo de resposta da medição | Densidade de superfície < 1 ms; espessura < 0,1 ms; |
Potência geral | <3 kW |
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